1、高纯氦气气瓶应置于专用库房贮存，库房应契合《建筑设计防火标准》的有关规定。

2、高纯氦气的空瓶与重瓶应分开放置，并有明显的标志，在附近设置灭火器材。

3、瓶内的高纯氦气彼此触摸能引起燃烧、、产生毒物的气瓶，禁止放在同一库房内。

4、气瓶放置应整齐、戴好瓶帽，立放时应妥善固定，横放时顶部朝同一方向。

另外，存放高纯氦气的库房内不得有地沟、暗道，禁止明火和其他热源。库房内应通风、枯燥，防止阳光直射、雨水淋湿，液氩生产厂家，谨防库房内积水，液氩储罐厂家，腐蚀钢瓶。

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少

应用于LED产业的特种气体半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体按照应用分类，主要包括：（1）硅族气体：含硅基的类，如（SiH4）、二氯二氢硅（SiH2Cl2）、乙（Si2H6）等。（2）掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼（BCl3）、、磷烷（PH3）、烷（AsH3）等。

2、高纯气体充装的抽空操作：

①开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，液氩价格，关闭抽空管道截止阀后，襄阳双沟液氩，停止真空泵;

②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。

③真空表指示值<-0.1MPa

④抽空5~15分钟后。

⑤关闭抽空总阀。

⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。

⑦关闭真空泵，抽空结束。

3、高纯气体充装的管道保压操作:

①充装结束后，关闭充装排总阀。

②30分钟后高纯，高纯气体充装要多久目测压力表压降低于10~15%。

高纯气体在充装前需要做的准备工作主要就是这些，大家要根据说明进行正确操作，从而使其性能得到充分的展示，更多关于高纯气体的信息，将继续为大家整理，欢迎及时查阅。

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