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半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少

应用于LED产业的特种气体半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,高纯氦气公司,大部分是有毒或腐蚀性气体。
品种高达百余种。
半导体工业特种气体按照应用分类,襄阳高纯氦气,主要包括:(1)硅族气体:含硅基的类,如(SiH4)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、乙(Si2H6)等。
(2)掺杂气体:含硼、磷、等三族及五族原子之气体,如三氯化硼(BCl3)、、磷烷(PH3)、烷(AsH3)等。


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4、氦气检漏能够检测出漏气速率约为10?11~10?12cm3/sec的小洞,灵敏度高,检漏方法简便。


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